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半導體應用

文章來源:monchina 上傳日期:2017-09-06 瀏覽次數:

砷化鎵(GaAs)為基礎的光纖測溫裝置(fotemp)是半導體晶片制造過程中非常理想的溫度監控手段,擁有廣泛的溫度測量范圍,從-200°C ~ + 300°C和高精度+ / - 0.2°C.

對生產車間內部的潔凈和安全性的嚴格要求是我們此項測溫技術的大前提。測溫探頭完全免疫射頻和電磁干擾,保證了Optocon光纖探針在一個接近零維護成本的情況下對每一塊硅片的準確測溫。

通過定制與測量系統的安裝,Optocon可靈活的配置。我們的光纖測溫系統可延伸至幾百米外的監控室,但是卻不影響測量的精確度。

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